一、 企业基础信息
单位名称:厦门市三安集成电路有限公司
统一社会信用代码:913502003028266333
法定代表人:林科闯
生产地址:福建省厦门市同安区洪塘镇民安大道753-799号
环保联系方式: 0592-6300348/易小姐
项目规模:项目总建筑面积为237446.85m2,总投资300475万元,预计项目年生产GaAs高速半导体外延片30万片、GaN高功率半导体外延片6万片,GaAs高速半导体芯片30万片、GaN高功率半导体芯片6万片。
二、建设项目环境影响评价及其他环境保护行政许可情况
u 建设项目环境影响评价: 2015年6月24日取得环评批复,文号:厦环评【2015】37号
u 项目一阶段环保竣工验收:2016年11月2日通过验收,文号:厦环同验【2016】116号
u 排污许可证:于2016年12月23日取得,证书编号:3502122015000148
三、企业治污减排设施情况
在公司建设过程中,公司内部环保工作也跟随国家环保政策的步伐进行相应的改进,建设了污水站、废气处理设施等污染物处理设施,积极履行了企业的环保责任。由公司总经理牵头,环安部负责具体推进环境管理体系的日常运行工作,水气化处理部及空调电力部负责环境保护设施的日常运行、测试记录、保养维护、及配合环保部门参与企业环保设施的竣工验收、监督监测工作等。
1. 污水治理情况
我司产生的废水,主要包括酸碱废水、有机废水、含氟废水、低浓度含氨废水、含砷废水及生活污水,主要排放的水污染物包括氟化物、总砷、pH、COD、BOD5、氨氮、总磷、悬浮物等。为确保废水达标排放,我司斥资1200 万元,主要建设了含砷废水处理设施、含氟废水处理设施、含氨废水处理设施、有机废水处理设施、酸碱废水处理设施、生活污水预处理设施、雨水综合管网、污水综合管网、排污口规范化建设等。含砷废水采用袋滤+氢氧化钠-氯化铁混凝沉淀法处理+UF 超滤处理+离子交换处理;含氟废水经除氟系统(钙盐沉淀-絮凝沉淀法)处理后进入含氨废水调节槽,与含氨废水共同处理;有机废水经过有机废水处理系统处理后与含氨废水调节槽出水一并进入生化系统处理;酸碱废水经过酸碱调节池调节处理;生活污水经化粪池处理。含砷剩余污泥和含氟剩余污泥脱水分别采用了1 台板框式污泥压滤机,有机剩余污泥脱水采用了一台离心式脱水机。达标排放废水通过市政污水管网排入翔安污水处理厂集中处理。
近一年来,我司污水站整体运行情况良好,根据我司水污染源自动监控设备数据显示,污水主要污染物COD、氨氮、As等排放浓度数据无超标情况,且都远低于污染物浓度限值。我司执行的水污染物排放标准如下表,2017年3月委托谱尼检测对我司废水污染物进行达标检测,结果显示污染物排放全部达标。
表1 项目水污染物排放标准 单位:mg/L
项目名称 | 最高允许排放浓度 | 标准来源 | 污染物排放监控位置 |
总砷 | 0.5 | GB8978-1996表1 | 设施废水排放口 |
氟化物 | 20 | GB8978-1996表4三级 | 企业废水总排放口 |
pH(无量纲) | 6~9 | DB35/322-2011表1三级标准 | |
化学需氧量(COD) | 400 | ||
五日生化需氧量(BOD5) | 250 | ||
氨氮(NH3-N) | 35 | ||
总磷(以P计) | 3.0 | ||
悬浮物(SS) | 350 | ||
石油类 | 20 |
2. 废气治理情况
本项目芯片生产过程中,酸清洗、湿法蚀刻、干法蚀刻工序产生的酸性废气,主要含Cl2、氟化物、氯化氢,经2 套玻璃钢喷淋塔处理,NaOH 碱液喷淋,设计净化率为90%以上,处理达标后经1 根29m 高排气筒排放。芯片生产的碱洗、光刻、湿法刻蚀等工序产生碱性废气,主要含NH3,采用2 套玻璃钢喷淋塔处理,HCl 溶液喷淋,设计净化率为93~95%,处理达标后经1 根23m 高排气筒排放;芯片生产的有机清洗、光刻、去光阻等工序产生的有机废气,主要含丙酮、TVOC,采用1 套沸石转轮+蓄热式焚化炉处理,沸石转轮将有机废气中的有机物吸附后(设计净化率95%以上),再脱附到蓄热式焚化炉焚烧处
理,焚烧烟气与经沸石转轮净化后的废气通过1 根21m 高排气筒排放。车间内通风置换的一般废气,主要为空气,通过1 根20m 高排气筒直接排放。废水处理站酸碱废气采用1 套“酸碱双塔玻璃钢净化塔”处理后通过28m 高排气筒排放。食堂油烟废气经一台油烟净化器处理后通过17m 高排气筒排放。为确保废气达标排放,我司共斥资264.56 万元,主要建设了碱性废气处理设施、酸性废气处理设施、有机废气处理设施、废水站废气处理设施等各种废气收集装置等。
我司执行的大气污染物排放标准如下表,2017年3月委托谱尼检测对我司废水污染物进行达标检测,结果显示污染物排放全部达标。
表2 项目废气污染物排放标准
项目 | 最高允许排放浓度(mg/m3) | 排放速率(kg/h) | 无组织排放监控浓度限值(mg/m3) | 标准来源 | |||
排气筒高度(m) | 最高允许排放速率 | 严格50%允许排放速率② | 监控点 | 浓度 | |||
NH3 | / | 15 | 4.9 | 2.45 | 周界外浓度最高点 | 1.5 | GB14554-93 |
硅烷 | 5 | 27 | 0.050 | 0.025 | / | 参照荷兰排放导则 | |
HCl | 80 | 25 | 0.775 | 0.3875 | 0.20 | DB35/323-2011 | |
27 | 0.945 | 0.4725 | |||||
Cl2① | 50 | 25 | 0.55 | 0.275 | 0.40 | ||
27 | 0.61 | 0.305 | |||||
氟化物 | 7 | 25 | 0.305 | 0.1525 | 0.02 | ||
27 | 0.371 | 0.1855 | |||||
NOx | 200 | 15 | 0.62 | 0.31 | 0.12 | ||
27 | 2.75 | 1.375 | |||||
54.9 | 18.42 | 9.21 | |||||
SO2 | 440 | 15 | 2.1 | 1.05 | 0.4 | ||
54.9 | 61.34 | 30.67 | |||||
颗粒物 | 100 | 15 | 2.8 | 1.4 | 1.0 | ||
54.9 | 95.62 | 47.81 | |||||
丙酮 | 150 | 15 | 1.4 | 0.7 | 1.8 | ||
TVOC | 100 | 15 | 8.0 | 4.0 | 3.2 | ||
砷烷 | 1.0 | 15 | 0.0036 | 0.0018 | 0.0010 | DB11/501-2007 | |
磷烷 | 1.0 | 15 | 0.022 | 0.011 | 0.0060 | ||
锡及其化合物 | 10 | 15 | 0.36 | 0.18 | 0.3 | GB16297-1996 |
3. 厂界噪声控制
我司对厂内重要噪声源的治理,以减少噪声源,阻隔传播途径和对受害者进行保护三方面相结合,具体采用了合理布置噪声源,使其远离敏感点,噪声设备安装消声器、减震地垫、螺栓及消声百叶等减震设施,并于厂界种植绿化隔声屏障,确保厂界噪声达标。
项目施工场界噪声排放执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》(GB12523-2011)表1标准限值;项目厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)2类标准,临民安大道和滨海东大道一侧厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)4类标准,详见表3和表4。经监测,厂界噪声达标。
表3 GB12523-2011《建筑施工场界环境噪声排放标准》 单位:dB(A)
施工阶段 | 噪声限值 | |
昼间 | 夜间 | |
各施工阶段 | 70 | 55 |
表4 GB12348-2008《工业企业厂界环境噪声排放标准》 单位:dB(A)
类别 | 昼间 | 夜间 |
2类 | 60 | 50 |
4类 | 70 | 55 |
4. 固废治理
我司生产中产生的所有固废分类收集,临时堆场按照《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》(GB18599-2001)建设控制,生活垃圾交由城市垃圾处理厂做填埋处置,可回收固废签订了有相关加工、处置的公司进行回收利用。危险废弃物签订了有危险废弃物出资的公司进行处置,严格执行危废处理流程及五联单制度,完全做到合法、合规性处置。
四、环保机构设置及环境管理制度的建立情况
为了做好安全环保工作,公司成立了以总经理为第一责任人的安全环保管理小组,并专门设置了环安部,设立环保工程师岗位,负责日常环境保护和环境污染防治设施的监督考核工作。各部门、各班组设置了兼职安全环保管理员,负责本部门的安全环保管理工作。
根据管理需要,制定并发布了《环保管理制度》、《大气污染防治管理程序》、《水污染防治管理程序》、《噪声污染防治管理程序》、《一般工业固废污染防治管理程序》、《环保设施管理程序》、《土建活动污染防治管理程序》、《建设项目环境保护管理程序》、《突发环境事件应急预案》、《危险废弃物清理作业规范》、《供应商管理作业规范》、《意外事故通报、调查与处理程序》、《环安监督与量测作业程序》、《环安紧急应变作业程序》等一系列环境保护管理制度。
五、环保工作目标
在全国提倡环保的当下,公司领导认识到企业自身的环保责任重大,多次强调落实多项环保工作,将严格执行国家相关的法律、法规及厦门市环保局环评批复上的各项规定,树立我司“遵守法规、预防污染;关爱环境、全员参与;优化工艺、节能降耗;定期审查、持续改进”的环境方针,发展循环经济,实现清洁生产,继续做好环保减排工作,为环保事业做出贡献。
厦门市三安集成电路有限公司(以下简称我司),于2014年4月11日正式签约落户厦门火炬高新区,项目位于同安区,东临滨海大道,南临民安大道,西临同龙三路,总用地面积187754.40平方米(约281亩),属于国家扶持的战略性新兴产业,被列入福建省重大工业项目和厦门市重点工业项目。项目总投资30亿元,拟新建砷化镓和氮化镓外延片生产线各一条,以及适用于专业通讯微电子市场的砷化镓高速半导体芯片与氮化镓高功率半导体芯片生产线各一条。我司环境影响评价报告于2015年6月24日取得环评批复,于2016年11月2日通过环保竣工验收,2016年12月23日取得正式排污许可证。
一、企业突发环境事件应急管理情况:
1、为积极应对各种突发环境事件,有序、高效地组织指挥事故抢险救援工作,我司于2016年6月20日发布《突发环境事件应急预案》并实施,并在同安环保分局进行备案,备案编号为350212-2016-012-M;预案附件中包含了突发环境事件风险评估,确定我司风险等级为较大环境风险(Q1M2E1)。
2、我司已建制专门的环境事件隐患排查治理制度,并按照制度定期对进行厂区环境安全隐患排查。
3、我司具有完善的紧急应变体系,并按规定配备充足的紧急应变器材及相关物资,设置环安部并配备专职环安人员进行厂区环保及安全的监督管理;厂区配有中央控制室,通过摄像头监控、毒害性气体探测器及在线监测仪对厂区运行情况进行24小时监控;并将中央控制室设置为应急救援办公室,负责应急救援的日常管理;工作现场配置自给式空气呼吸器(SCBA)、丘比特电动送风防护套组、长管式空气呼吸器、泄漏处理车、四用气体侦测器、防爆抽风机、救援三脚架、防护服等大量紧急应变器材;成立紧急应变小组,为使ERT成员熟练使用紧急应变器材,环安专业人员对ERT进行专项培训及考核,确保发生紧急情况时可在第一时间有效处理。
4、为检验企业突发环境事件应急水平,完善突发环境事件应急预案,我司陆续于2015/11/30、2016/11/24、2017/05/19开展公司特殊气体泄漏应急演练,并与同安区环保局开展化学品泄漏联合演练,希望籍演练锻炼企业及时妥善处理突发事件的能力,把突发环境事件消除在萌芽状态,避免给企业人员和周边居民带来损害,造成环境污染。
二、企业突发环境事件风险防控措施布设情况:
1、项目按照环评批复及应急预案要求,配备充分的防止泄露紧急应变物资;根据环评报告要求对地下水污染采取分区防治,对重点污染防治区、一般污染防治区不同防渗等级要求,采取了地面防渗及管道防渗措施,避免污染地下水;于2015年完成地下水监控井的建制,并采用半年一次的频率进行监测;若污染事故发生或发现监控井地下水受到污染时,即启动公司紧急应变方案,及时报告项目环境管理机构负责人,并采取必要的应急处置措施及防治措施。
2、废水处理站1F配置总容量641m3的应急池收纳事故废水,应急池设置地点为地上,故一般采用水泵等提升装置将受污染的废水打入处理;一旦遭遇停电,动力站1F配置有紧急发电机系统,并接入事故应急设施动力装置,确保污水收纳。项目放流口切断闸门采用电动、手动两式并有专人负责,紧急情况下关闭废水站放流池排水提升泵即可切断。雨水放流井则加设紧急回抽装置,以确保事故初期雨水可回收到废水站相应事故应急池;重点污染防治区域均设置导流沟及集水坑,如危废仓,废水站,化学品仓库等区域。危废仓集水坑容积约为8立方米,废水站集水坑容积约为6立方米,化学品仓库集水坑容积约为3立方米。集水坑均设置抽水泵浦,一旦发生泄漏,抽水泵浦及相应管道即可将泄漏物收集到废水站及储液池进行处理达标后排放。
三、突发大气环境事件风险防控措施布设情况:
1、因生产需求,我司有使用有毒有害气体(NH3、CL2、BCl3、SiH4、AsH3、PH3等)。特气在未使用之前,气体的出口处用铅封密封,保证气体不泄漏。特气的摆放严格按照其理化性质分类存放,确保气瓶的瓶帽、阀门、内锁、铅封四道保险正常有效。气体储存间外围安装标有明显的剧毒、防火警告标志,存放在专用而牢固的地方并锁好,存放场所远离居民区并封闭,无关人员无法进入。对剧毒物品存放场所以白底红字“剧毒物”表示,配备具有专业资质的人员进行全天不间断值班巡检,剧毒气体储存间实行双人收发、双人保管制度,管理人员必须持证上岗。在生产车间内部设置了各类气体监控装置,与气柜联动。车间内任何气体超标,与主设备配套的监测器将自动报警并切断气源。在尾气处理系统上、尾气的最终排放口上也都安装了有毒气体监测器,一旦排放尾气超标,监测器将进行声光报警并切断所有气源,人员将立即疏散。同时还配备相应便携式气体侦测器,在气瓶的转移、更换等过程中进行实时监控,如果有害气体泄漏,须有身着全面罩呼吸器、全身防护服的操作人员及时应对,排除故障,避免任何事故发生,以保证员工的人身安全和环境空气不受到污染。
2、一旦发生可能污染周边单位及居民的特气泄漏,我司立即按照突发环境事件应急预案,立即采取防治措施,及时通报周边可能受污染危害的单位和居民,并通报环保分局。
我司现已满足环境安全生产条件,并已向环保局进行报备,确保安全生产。
为最大限度控制突发环境事件对环境造成不良影响,我司于2018年6月完成现阶段突发环境事件应急预案的编制,并在同安生态环境局进行了备案。
备案编号:350212-2018-027-M
风险级别:较大
预案详情请阅读以下链接: